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生产碳化硅的设备

生产碳化硅的设备

2022-03-09T20:03:40+00:00

2025市场达200亿，碳化硅关键设备企业迎历史机遇知乎

2023年11月12日宇晶股份近日在调研中表示，公司加大对碳化硅切、磨、抛关键技术的攻克，设备的精度已经达到行业一流水平，公司生产的碳化硅切割、研磨、抛光设备主要 2020年10月21日以碳化硅MOSFET工艺为例，整线关键工艺设备共22种。 1碳化硅晶体生长及加工关键设备主要包括: 碳化硅粉料合成设备用于制备生长碳化硅单晶所需的碳化硅粉料,高质量的碳化硅粉料在后续的碳化硅生首片国产 6 英寸碳化硅晶圆发布，有哪些工艺设备？有 2023年2月4日 11衬底方向：碳化硅衬底在整个产业链中是成本占比最高的，达到47%，外延占比23%，器件设计+器件制造占比30%。先普及一下基本常识：如今大多数衬底厂商都是处于6英寸量产的阶段，8英寸处于研发碳化硅产业链深度解析（全网最全独家）碳化硅产业链

产业加速扩张之下，碳化硅设备成入局“香饽饽”腾讯新闻

2022年12月15日环球晶董事长徐秀兰也在6月21日举办的股东会上表示，环球晶决定新增制造设备项目，规划自行设计生产碳化硅长晶炉设备，以强化产品的可控因素。徐秀兰还 2023年10月27日生产碳化硅器件主要包括衬底、外延、器件制造（设计、制造、封测）三大环节。按照电阻性能的不同分为导电型碳化硅功率器件和半绝缘型碳化硅基射频器碳化硅（SiC）行业深度：市场空间、未来展望、产业链及相关 2023年11月12日目前国内的碳化硅长晶炉设备供应商主要有北方华创和晶升股份，两者在国内占有的份额超过70%，考虑到与工艺的契合性，衬底厂商一般不轻易改变长晶炉的 2025市场达200亿，碳化硅关键设备企业迎历史机遇产能

碳化硅衬底设备行业深度报告：新能源需求兴起，国产

2022年3月2日碳化硅功率器件具有高电压、大电流、高温、高频率、低损耗等独特优势，将极大提高现有使用硅基功率器件的能源转换效率，未来将主要应用领域有电动汽车/充电桩、光伏新能源、轨道交通、智能电网等 2022年3月2日 SiC 碳化硅是制作高温、高频、大功率、高压器件的理想材料之一：由碳元素和硅元素组成的一种化合物半导体材料。相比传统的硅材料（Si），碳化硅（SiC）的禁带宽度是硅的 3 倍；导热率为硅的 45 碳化硅衬底设备行业深度报告：新能源需求兴起，国产 2023年3月13日晶体制备由于物理的特性，碳化硅材料拥有很高的硬度，目前仅次于金刚石，因此在生产上势必要在高温与高压的条件下才能生产。以PVT法为例，碳化硅晶体制备面临以下困难：温场控制困难、生碳化硅 ~ 制备难点知乎

国产8英寸碳化硅量产加速！行业龙头频频联手国际功率半导

2023年10月24日碳化硅行业三个重点环节（衬底、外延和器件）中，衬底在产业链中价值量占比最高，接近50%。碳化硅市场以6英寸为主流，而8英寸能够生产的晶粒数约为6英寸SiC晶圆的18倍，晶圆利用率和产能将会显著提高，可将单位综合成本降低 50%。2023年7月14日因为碳化硅在生产环节存在单晶生产周期长、环境要求高、良率低等问题，碳化硅衬底的生产中的长晶环节需要在高温、真空环境中进行，对温场稳定性要求高，并且其生长速度比硅材料有数量级的差异。因此，碳化硅衬底生产工艺难度大，良率不高。碳化硅“狂飙”：追赶、内卷、替代Focus腾讯新闻2023年6月28日碳化硅衬底既硬且脆，切割、研磨、抛光的难度都很高，对加工工艺、原材料供应、设备磨合等各个环节考验很高，如何实现8英寸衬底量产难关成为国产碳化硅进击8英寸工艺节点最佳“掘金”窗口期步入倒计时

简述碳化硅的生产制备及其应用领域专题资讯中国粉体网

2017年4月21日三国内生产工艺现状中国碳化硅冶炼的生产工艺、技术装备和单吨能耗都达到世界领先水平。黑、绿碳化硅原块的质量水平也属世界级。但是与国际相比，中国碳化硅的成产还存在以下问题：（1）生产设备不先进，很多工序依靠人力完成，人均产量较低。2023年6月28日与此同时，8英寸碳化硅的上游原材料和生产设备等环节，也在逐步推进国产化。而海外大厂也在通过整合补全短板，启动一系列产能扩张计划。但蜂拥而至的游戏玩家也让碳化硅赛道变得拥挤不堪。广东芯聚能半导体CEO周晓阳也在芯谋研究承办碳化硅“风起”：海外巨头忙扩产能、国内产业链急追腾讯网2022年1月12日公司成立于2010年，具备多年研发、量产碳化硅衬底的经验。衬底尺寸越大，单位衬底可生产的芯片越多。在半绝缘型碳化硅市场，目前衬底规格以4 【新股报告】半导体材料新股系列：天岳先进碳化硅新浪

碳化硅产业链深度解析（全网最全独家）碳化硅产业链深度

2023年2月4日 6 寸外延设备集中在意大利的 LPE 和日本的 NuFlare，Nuflare每年产能仅12台，LPE 每年产能30台+，外延设备的产能可能成为碳化硅产业的产能瓶颈。 Nuflare 在中国出售已经排至 2023下半年，每台设计产能为 1800 片/月。2023年1月4日制作碳化硅器件的大部分设备与传统硅的生产设备相同，但由于碳化硅材料硬度高、熔点高等特性，需要一些特殊的生产设备与工艺。 SiC所需的特定设备包括高温退火炉、高温离子注入机、SiC减薄设备、背面金属沉积设备、背面激光退火设备、SiC沉底和外延片表面缺陷检测和计量设备等。第三代半导体SiC产业链及市场应用研究碳化硅材料高温2022年3月2日碳化硅衬底设备行业深度报告：新能源需求兴起，国产替代有望突破 1 SiC 碳化硅：产业化黄金时代已来；衬底为产业链核心 11 SiC 特点：第三代半导体之星，高压、高功率应用场景下性能优越半导体材碳化硅衬底设备行业深度报告：新能源需求兴起，国产

行业研机械设备关注碳化硅设备国产化突破和加速究 2023

2023年2月26日衬底环节是碳化硅器件制造中最核心、最困难的环节。碳化硅衬底价格高是制约碳化硅应用落地的主要原因。由于切片环节良率较低，切抛磨环节约占衬底总成本的2/3，切磨抛设备是衬底加工最核心的设备，国产化率约20%。根据我们测算，预计2025 年 2020年12月2日技术碳化硅产业链条核心：外延技术碳化硅功率器件与传统硅功率器件制作工艺不同，不能直接制作在碳化硅单晶材料上，必须在导通型单晶衬底上额外生长高质量的外延材料，并在外延层上制造各类器件。碳化硅一般采用PVT方法，温度高达2000多度，且技术碳化硅产业链条核心：外延技术知乎2021年1月14日具体的碳化硅功率器件生产过程如下，1碳化硅高纯粉料合成碳化硅高纯粉料是采用PVT法生长碳化硅单晶的原料，其产品纯度直接影响碳化硅单晶的生长质量以及电学性能。碳化硅粉料有多种合成方式，主要有固相法、液相法和气相法3种。【详解】华为认为中高压SiC器件成熟在即相关仪器设备需求

2025市场达200亿，碳化硅关键设备企业迎历史机遇产能

2023年11月12日虽然碳化硅产能扩建一片红红火火，但想要大规模起量乃至获得高额收益，至少要等到2025年以后了，如今都不过是在烧钱布局罢了，最先从中受益的反而是设备厂商，由于碳化硅的扩建扩产，相关设备市场皆呈现供不应求的状态，Insemi预计2025年碳化 2023年10月27日碳化硅衬底的生产流程包括长晶、切片、研磨和抛光环节。长晶：核心环节，通过物理气相传输法（PVT）在高温高压的条件下，将碳化硅原料气化并沉积在种子晶上，形成碳化硅单晶锭。需要精确控制各种参数，如温度、压力、气流、硅碳比等碳化硅（SiC）行业深度：市场空间、未来展望、产业链及相关 2022年5月11日先进陶瓷：曾是被“卡脖子”的重灾区，现在怎么样了？固态电解质关键生产设备：等静压机搅拌磨、气流磨、砂磨机，应该怎么选？从我国新材料产业发展现状和需求看粉体产业深层次的价值打入氮化硅陶瓷球轴承的“高端局”，你可能只差这一步！一张图了解生产碳化硅晶片的灵魂装备——长晶炉一张图资讯

第三代半导体发展之碳化硅（SiC）篇知乎

2019年9月5日碳化硅功率器件生产过程衬底方面：通常用Lely法制造，国际主流产品正从4英寸向6英寸过渡，且已经开发出8英寸导电型衬底产品，国内衬底以4英寸为主，质量相对薄弱，主要用于生产10A以下小电流产品，目前单晶生长缓慢且品质不够稳定是碳化硅价格高、市场推广慢的重要原因。2022年7月11日 1、碳化硅产业上市公司汇总碳化硅行业在产业链中处于中上游环节，下游主要服务于新能源汽车、5G通信等行业，以满足产业需求。在碳化硅芯片制造环节，天岳先进是碳化硅行业的主要企业之一，围绕碳化硅衬底进行垂直深入的研究与生产。注：5颗星为【全网最全】 2022年中国碳化硅行业上市公司全方位对比(附 2023年8月5日由于生产商数量有限，而基于碳化硅的设计需求巨大，原始设备制造商和汽车供应商越来越希望锁定可靠的长期供应。在当前全球碳化硅功率市场高景气行情下，碳化硅处在爆发式增长的前期，扩产放量是行业关注重点。碳化硅龙头忙扩产，市场将迎来高峰？腾讯新闻

碳化硅“风起”：海外巨头忙扩产能、国内产业链急追碳

2023年6月28日龚瑞骄说，除了Wolfspeed、ST、英飞凌，规划8英寸碳化硅晶圆生产设施的厂商还包括安森美、三菱、ROHM等，博世也在今年收购了美国的一家半导体厂商 2023年6月30日因为碳化硅在生产环节存在单晶生产周期长、环境要求高、良率低等问题，碳化硅衬底的生产中的长晶环节需要在高温、真空环境中进行，对温场碳化硅“狂飙”：追赶、内卷、替代碳化硅新浪财经新浪网2020年12月8日 01 切割切割是将SiC晶棒沿着一定的方向切割成晶体薄片的过程。将SiC晶棒切割成翘曲度小、厚度均匀、低切损的晶片，对于后续的研磨和抛光至关重要。与传统的内圆、外圆切割相比，多线切割具有大切削速度、高加工精度、高效率和较长的寿命等工艺详解碳化硅晶片的工艺流程知乎

碳化硅“狂飙”：追赶、内卷、替代产业链碳化硅器件新浪新闻

2023年6月28日碳化硅全产业链作为第三代半导体材料，碳化硅相较于硅材料，具有大禁带宽度、高击穿电场、高饱和电子漂移速度、高热导率、高抗辐射等特点，适合制造高温、高压、高频、大功率的器件。当前从光伏到新能源汽车，碳化硅下游市场需求旺盛，特别是随 2022年8月25日这是一个需要用设备部署的大量洁净室空间。一些用于硅生产线的设备也可用于碳化硅生产线。但大批量的生产需要一些专门的工具。 IDM和代工厂需要什么？随着特斯拉的发展，意法半导体很快就实现了高销量。意法半导体汽车产品集团功率 SiC发展神速设备XFab碳化硅2021年12月5日本文首发自公众号：价值盐选今天我们分析一下半导体产业链，这条产业链分为很多环节，比如材料、设备、芯片设计、芯片制造、封装测试。我们先来分析其中一种材料，叫做碳化硅 SiC。 01 SiC 基本情况及产业链这个碳化硅是第三代半导体材料，第碳化硅产业链最全分析知乎

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2022年3月22日掌握了碳化硅晶片生产的“设备研制—原料合成—晶体生长—晶体切割—晶片加工—清洗检测”全流程关键技术和工艺。2020 年 8 月 17，公司碳化硅 2021年12月24日因为以后要用到大量的这种材料因此想了解一下这种材料的生产工艺。比如，当前主流的生产现在不是有了碳化硅（SiC）等第三代半导体器件吗？但是，虽然SiC 器件的特性比硅好了很多，但是应用中仍有许多新的问题要解决。应用SiC 10年的我想了解一下碳化硅的生产工艺？知乎2023年11月2日 TrendForce旗下半导体研究中心，聚焦化合物半导体 10月31日，中电化合物半导体有限公司（CECS）宣布成功向客户交付首批次8吋SiC外延片产品，这标志着中电化合物的外延产品迈上新台阶，可为行业提供更加先进的技术支持，从而推动碳化硅行业加速发中电化合物完成交付首批8吋SiC外延片知乎

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2023年6月28日因为碳化硅在生产环节存在单晶生产周期长、环境要求高、良率低等问题，碳化硅衬底的生产中的长晶环节需要在高温、真空环境中进行，对温场 2020年10月19日设备方面：碳化硅生产的高端设备，基本掌握在欧美手中。国内核心设备正在加紧国产化。但检测设备与国内其他行业的同类产品一样，是非常大的短板。笔者认为，第三代半导体的国产化比第二代半导小议碳化硅的国产化知乎2022年9月6日四、碳化硅产业现状 1、中国碳化硅产量分为黑碳化硅和绿碳化硅，2020年中国黑碳化硅产量为75万吨，绿碳化硅产量为105万吨，2021年中国黑碳化硅产量为90万吨，绿碳化硅为11万吨，产量相继上碳化硅行业发展现状如何？一文读懂碳化硅产量、良率

第三代半导体之碳化硅：中国半导体的黄金时代知乎

2021年8月16日除此之外，碳化硅基功率器件在开关频率、散热能力、损耗等指标上也远好于硅基器件。碳化硅材料具有更高的饱和电子迁移速度、更高的热导率、更低的导通阻抗。1、阻抗更低，可以缩小产品体积，提高 2023年11月25日碳化硅衬底的生产流程包括长晶、切片、研磨和抛光四个环节。为让大家更加了碳化硅产业链，今天给大家盘点一下国内碳化硅衬底生产企业，据初步统计，国内共20余家碳化硅衬底企业，主要分布在浙江、广东、山西等地。如后是各企业的简单介绍，以盘点国内SiC碳化硅衬底公司电子工程专辑2022年3月18日晶盛机电表示该公司生产的碳化硅外延设备已形成了销售。同时该公司在碳化硅晶体生长、切片、抛光环节规划建立测试线，以实现装备和工艺技术的领先，目前测试线进展顺利，设备分批进厂安装调试中。A股的碳化硅龙头是哪家? 知乎

生产研发第三代半导体碳化硅材料的上市公司（名单）知乎

2021年8月26日生产研发第三代半导体碳化硅材料的上市公司（名单）新材料应用之广泛，我在这就不多赘述了。这里提到新材料概念，是因为国家在各种场合多次提到解决“卡脖子”问题，从高端制造到原材料都要逐步实现国产替代，做到有备无患；对一些专业做得好的 2019年2月22日 2018年11月13日，天岳碳化硅材料项目开工活动在长沙浏阳高新区举行，该项目的落实标志着国内较大的第三代半导体碳化硅材料项目及成套工艺生产线正式开建。据悉，天岳碳化硅材料项目由山东天岳晶体材料有限公司开发建设，总投资30亿元，项目分国内第三代半导体厂商（碳化硅）知乎2022年12月15日在外延设备方面，晶盛机电表示，公司生产的SiC碳化硅外延设备为公司独立研发设计和生产制造，核心技术均拥有独立的知识产权，目前已实现批量销售。季华实验室也在4月表示，由季华实验室大功率半导体研究团队自主研发的6英寸SiC高温外延产业加速扩张之下，碳化硅设备成入局“香饽饽”sic材料

碳化硅，第三代半导体时代的中国机会光明网

2021年7月21日碳化硅，第三代半导体时代的中国机会来源：科技日报 09:39 5G通信、电动汽车等新兴产业对碳化硅材料将产生巨大需求，大力发展碳化硅产业，可引领带动原材料与设备两个千亿级产业，助力我国加快向高端材料、高端设备制造业转型发展的步 2021年11月17日露笑科技正在向“家量产的导电型碳化硅衬底片”的上市公司而努力。值得关注的是，露笑科技近日对外公布了合肥露笑半导体项目新进展。目前合肥露笑半导体一期已完成主要设备的安装调试，进入正式投产阶段，后续或将进一步扩大产能。调研｜露笑科技布局碳化硅进展：首批50台长晶炉已全部投产 2022年3月2日 SiC 碳化硅是制作高温、高频、大功率、高压器件的理想材料之一：由碳元素和硅元素组成的一种化合物半导体材料。相比传统的硅材料（Si），碳化硅（SiC）的禁带宽度是硅的 3 倍；导热率为硅的 45 碳化硅衬底设备行业深度报告：新能源需求兴起，国产

碳化硅 ~ 制备难点知乎

2023年3月13日晶体制备由于物理的特性，碳化硅材料拥有很高的硬度，目前仅次于金刚石，因此在生产上势必要在高温与高压的条件下才能生产。以PVT法为例，碳化硅晶体制备面临以下困难：温场控制困难、生 2023年10月24日碳化硅行业三个重点环节（衬底、外延和器件）中，衬底在产业链中价值量占比最高，接近50%。碳化硅市场以6英寸为主流，而8英寸能够生产的晶粒数约为6英寸SiC晶圆的18倍，晶圆利用率和产能将会显著提高，可将单位综合成本降低 50%。国产8英寸碳化硅量产加速！行业龙头频频联手国际功率半导 2023年7月14日因为碳化硅在生产环节存在单晶生产周期长、环境要求高、良率低等问题，碳化硅衬底的生产中的长晶环节需要在高温、真空环境中进行，对温场稳定性要求高，并且其生长速度比硅材料有数量级的差异。因此，碳化硅衬底生产工艺难度大，良率不高。碳化硅“狂飙”：追赶、内卷、替代Focus腾讯新闻

国产碳化硅进击8英寸工艺节点最佳“掘金”窗口期步入倒计时

2023年6月28日碳化硅衬底既硬且脆，切割、研磨、抛光的难度都很高，对加工工艺、原材料供应、设备磨合等各个环节考验很高，如何实现8英寸衬底量产难关成为 2017年4月21日三国内生产工艺现状中国碳化硅冶炼的生产工艺、技术装备和单吨能耗都达到世界领先水平。黑、绿碳化硅原块的质量水平也属世界级。但是与国际相比，中国碳化硅的成产还存在以下问题：（1）生产设备不先进，很多工序依靠人力完成，人均产量较低。简述碳化硅的生产制备及其应用领域专题资讯中国粉体网2023年6月28日与此同时，8英寸碳化硅的上游原材料和生产设备等环节，也在逐步推进国产化。而海外大厂也在通过整合补全短板，启动一系列产能扩张计划。但蜂拥而至的游戏玩家也让碳化硅赛道变得拥挤不堪。广东芯聚能半导体CEO周晓阳也在芯谋研究承办碳化硅“风起”：海外巨头忙扩产能、国内产业链急追腾讯网

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2022年1月12日公司成立于2010年，具备多年研发、量产碳化硅衬底的经验。衬底尺寸越大，单位衬底可生产的芯片越多。在半绝缘型碳化硅市场，目前衬底规格以4 2023年2月4日 6 寸外延设备集中在意大利的 LPE 和日本的 NuFlare，Nuflare每年产能仅12台，LPE 每年产能30台+，外延设备的产能可能成为碳化硅产业的产能瓶颈。 Nuflare 在中国出售已经排至 2023下半年，每台设计产能为 1800 片/月。碳化硅产业链深度解析（全网最全独家）碳化硅产业链深度 2023年1月4日制作碳化硅器件的大部分设备与传统硅的生产设备相同，但由于碳化硅材料硬度高、熔点高等特性，需要一些特殊的生产设备与工艺。 SiC所需的特定设备包括高温退火炉、高温离子注入机、SiC减薄设备、背面金属沉积设备、背面激光退火设备、SiC沉底和外延片表面缺陷检测和计量设备等。第三代半导体SiC产业链及市场应用研究碳化硅材料高温